| 专利名称 | 光刻环形照明模式产生装置 | 申请号 | CN201310422536.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103472687A | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张运波;曾爱军;王莹;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻环形照明模式产生装置 至光刻环形照明模式产生装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于投影光刻机的光刻环形照明模式产生装置，包括激光源，沿该激光源输出光束方向依次是第一透镜、第二透镜、锥形光束产生器件、平凸锥透镜，所述的平凸锥透镜固定在直线位移台上，该直线位移台带动所述的平凸锥透镜沿激光源输出光束方向直线运动。本发明大大简化了的投影光刻照明系统的结构。 |
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