| 专利名称 | 测量非轴对称波面的横向剪切干涉仪 | 申请号 | CN201310419736.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103471724A | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 周健;鲁伟;马小平;孙建锋;孙志伟;刘立人 | 主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 测量非轴对称波面的横向剪切干涉仪 至测量非轴对称波面的横向剪切干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种测量非轴对称波面的横向剪切干涉仪，用于对复杂波面进行波面检测，由分束单元、x方向剪切干涉单元、y方向剪切干涉单元、第一图像传感器、第二图像传感器和计算机构成。本发明采用直角棱镜实现光束x方向剪切，梯形直角棱镜实现y方向剪切，利用移动平台实现剪切量大小的调整。具有结构简单紧凑、在同一平台进行操作、剪切量可调的优点。 |
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