| 专利名称 | 电化学敏感元件、其制备方法、应用其的地震检波器 | 申请号 | CN201310432017.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103472480A | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 王军波;龚黎明;陈德勇;陈健 | 主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G01V1/18(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 电化学敏感元件、其制备方法、应用其的地震检波器 至电化学敏感元件、其制备方法、应用其的地震检波器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种电化学敏感元件、其制备方法、应用其的地震检波器。该电化学敏感元件采用两层硅片分别制作电极与流道结构，使得制作电极的硅片上可以正反两面都制作出电极结构，在参数一样的情况下，电极的有效面积增大一倍，从而电化学敏感元件的灵敏度也将增大一倍。 |
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