一种二维原子晶体材料、其连续化生产方法及生产线

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专利名称 一种二维原子晶体材料、其连续化生产方法及生产线 申请号 CN201310389108.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103469308A 公开(授权)日 2013.12.25 申请(专利权)人 中国科学院过程工程研究所 发明(设计)人 王钰;陈运法 主分类号 C30B29/64(2006.01)I IPC主分类号 C30B29/64(2006.01)I;C30B25/00(2006.01)I 专利有效期 一种二维原子晶体材料、其连续化生产方法及生产线 至一种二维原子晶体材料、其连续化生产方法及生产线 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种二维原子晶体材料、其连续化生产方法及生产线。所述制备二维原子晶体材料的连续化生产线包括依次连接的设有第一卷辊(11)的放卷室(1)、电感耦合-化学气相沉积室(2)、冷却室(3)以及设有第二卷辊(41)的收卷室(4)。本发明提供的制备二维原子晶体材料的连续化生产线能够实现二维原子晶体材料的连续化生产,制备效率高,降低了二维原子晶体材料的生产成本,生产过程条件可控,工艺条件稳定,重复性高;制备得到的二维原子晶体材料的长度可控,可以生长较长的二维原子晶体材料。

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