| 专利名称 | 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法 | 申请号 | CN201310375485.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103469168A | 公开（授权）日 | 2013.12.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 柯培玲;王振玉;张栋;汪爱英;谢仕芳 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法 至一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法，该方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，将清洗烘干后的基体放入腔体中，抽真空后向腔体内通入惰性气体与氮气，开启高功率脉冲磁控溅射源，在基体表面沉积TiN薄膜；通过调节基底脉冲负偏压，改变TiN薄膜的表面微结构，从而制备出润湿性可控的TiN薄膜。实验证实，该方法简单易行，不仅能够得到高光滑度、高硬度的TiN薄膜，而且通过对基体脉冲负偏压的简单调控就能实现对TiN薄膜润湿性的调控，因此是一种制备高性能TiN薄膜的理想方法，具有良好的应用前景。 |
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