| 专利名称 | 一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法 | 申请号 | CN201310306376.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103453991A | 公开（授权）日 | 2013.12.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 刘正坤;陈火耀;王庆博;刘颖;付绍军 | 主分类号 | G01J3/28(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/28(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法 至一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法，利用光栅分区的方法，在不改变光谱仪结构的前提下分别设计各分区的槽型参数，改变各分区的衍射效率，从而进一步修正像差来提高光谱分辨率。本发明的优点为：光栅制作中沿垂直于条纹方向进行分区，分别设计不同的槽型参数，改变其衍射效率分布，进一步修正像差；在保证衍射效率的前提下，选择合适的分区结构槽型参数，提高了像差较严重波长的分辨率，而且不影响其他波长的分辨率，从而使光谱仪在整个使用波段上获得较好的分辨率。 |
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