| 专利名称 | 三明治型刀片状电极的相变存储结构及其制备方法 | 申请号 | CN201310370735.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103441215A | 公开（授权）日 | 2013.12.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘波;宋志棠 | 主分类号 | H01L45/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L45/00(2006.01)I | 专利有效期 | 三明治型刀片状电极的相变存储结构及其制备方法 至三明治型刀片状电极的相变存储结构及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种三明治型刀片状电极的相变存储结构及其制备方法，在衬底上与下电极不重合的位置制备支撑结构；依次沉积第一绝缘材料层、与下电极接触的加热电极层以及第二绝缘材料层；利用相互垂直的第一、第二分隔槽分隔相邻所述下电极，形成三明治型刀片状电极；在所述第一、第二分隔槽内沉积绝缘材料；形成绝缘材料层并平坦化；使得三明治型刀片状电极露出；在所述三明治型刀片状电极上方形成与其接触的相变材料层；在所述相变材料层上形成上电极。本发明克服因加热电极被氧化导致电阻稳定性差，三明治型刀片状纳米电极包覆的氮化物有助于阻止电极被氧化，从而避免电极阻值的不稳定，克服了相变存储器器件的失效，提高器件的成品率。 |
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