| 专利名称 | 一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 | 申请号 | CN201310390028.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103439868A | 公开（授权）日 | 2013.12.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 陈红丽;邢廷文;林妩媚;廖志杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 至一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种投影物镜数值孔径的测量装置及方法，包括：物面上放置的小孔阵列，像面上放置的一个可以在xyz向的高精度步进工件台，在工件台上安装波像差测量装置。测量方法包括如下步骤：将小孔阵列放置在物面上；将波前探测器放置在物镜像面位置；设置物镜NA使用照明光束照明掩模；使测试台在Z方向运动，使用波前探测器找到波像差最小的位置；记录下此时的波像差值及坐标位置；改变测试台位置和照明光束，重复前述两步，直到所有视场点的最小WFE值及坐标均被测得；计算投影物镜的数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。 |
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