| 专利名称 | 原子力传感器的制造方法和传感器及其测定装置和方法 | 申请号 | CN201210168057.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103424572A | 公开（授权）日 | 2013.12.04 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 陈鹏程;袁秉凯;仉君;程志海;裘晓辉 | 主分类号 | G01Q60/38(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/38(2010.01)I | 专利有效期 | 原子力传感器的制造方法和传感器及其测定装置和方法 至原子力传感器的制造方法和传感器及其测定装置和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 公开了原子力传感器的制造方法和传感器及其测定装置和方法，其中，制造方法包括：将音叉的下悬臂以绝缘胶固定在陶瓷基底上，其中陶瓷基底上设置有隧道电流引出电极和电荷引出电极，音叉的上悬臂末端和下悬臂末端各有一个音叉电极；在音叉的上悬臂近自由端位置涂覆矩形绝缘层；将钨丝的一端部和金丝的一端部在矩形绝缘层上相胶粘，其中钨丝和金丝分别与音叉的上悬臂相垂直，其中金丝为近U形；将金丝的另一端与隧道电流引出电极相连接；将音叉的上悬臂末端的音叉电极通过导线与电荷引出电极相连接；以及将钨丝的自由端蚀刻为针尖状。通过本发明能够快速制备参数精确可控的小振幅原子力传感器，提高短程力在测量信号中的比例，提高传感器分辨率。 |
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