| 专利名称 | 单一高次谐波紫外单色光源 | 申请号 | CN201310371236.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103427323A | 公开（授权）日 | 2013.12.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 尉鹏飞;曾志男;苗境;姜甲明;葛晓春;李闯;李儒新 | 主分类号 | H01S3/10(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/10(2006.01)I;G02F1/35(2006.01)I | 专利有效期 | 单一高次谐波紫外单色光源 至单一高次谐波紫外单色光源 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种单一高次谐波紫外单色光源，包括800nm强场偏振激光、光束整形器、光能量调控器、光相位调制器、汇聚透镜、长程相互作用气体盒、金属铝膜、真空腔体等组成。本发明能产生单一高次谐波。这种高单色高相干的紫外辐射可用于微纳结构的高精度加工和探测，以及高精度的全息相干成像等领域，应用广泛。 |
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