| 专利名称 | 加速OPC的方法和装置 | 申请号 | CN201310339889.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103425828A | 公开（授权）日 | 2013.12.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 陈岚;吴玉平 | 主分类号 | G06F17/50(2006.01)I | IPC主分类号 | G06F17/50(2006.01)I | 专利有效期 | 加速OPC的方法和装置 至加速OPC的方法和装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种加速OPC的方法和装置，所述方法包括：物理版图区域划分；区域间图形几何同构检测；区域内OPC；区域OPC数据的复用。本发明还提供了一种加速OPC的装置，该装置包括：物理版图区域划分单元；区域间图形几何同构检测单元；区域内OPC单元；区域OPC数据的复用单元。本发明可提高对芯片的掩模版图进行OPC的速度，缩短对芯片的掩模版图进行OPC的时间。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障