| 专利名称 | 一种真空精密位移装置 | 申请号 | CN201210160407.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103424303A | 公开（授权）日 | 2013.12.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 郭晓东;谢楠;颜世超;宫会期;单欣岩;郭阳;陆兴华 | 主分类号 | G01N1/36(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N1/36(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空精密位移装置 至一种真空精密位移装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种真空精密位移装置，包括：底法兰(1)；顶法兰(2)；连接二法兰的波纹管(7)；用于安装顶法兰(2)的位移台(3)，顶法兰(2)能够相对位移台(3)平动；用于驱动顶法兰(2)的运动机构，其包括第一运动装置(5)和第二运动装置(6)。第一运动装置(5)能够使顶法兰(2)相对位移台(3)平动，第二运动装置(6)能够使位移台(3)相对底法兰(1)纵向运动。其中，第二运动装置(6)连接底法兰(1)与位移台(3)并且至少有两组，它们以大致均匀间隔的方式设置在底法兰(1)上，在使位移台(3)运动的同时支撑位移台(3)。这种位移装置具有结构简单，占用面积小，成本低，力学性能较好的特点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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