柔性电容式触觉传感器及其柔性电容单元的制备方法

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专利名称 柔性电容式触觉传感器及其柔性电容单元的制备方法 申请号 CN201310375189.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103424214A 公开(授权)日 2013.12.04 申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 汪玉冰;孙鑫;汪步云;李珊红;潘宏青;王耀雄;王菲露;刘海伟;任泓宇;孙玉苹;葛运建;双丰 主分类号 G01L1/14(2006.01)I IPC主分类号 G01L1/14(2006.01)I;H01G4/33(2006.01)I 专利有效期 柔性电容式触觉传感器及其柔性电容单元的制备方法 至柔性电容式触觉传感器及其柔性电容单元的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器,包括柔性电容单元以及与其电连接的信号处理电路电路板,所述柔性电容单元包括柔性绝缘介质层,其上、下表面分别开设与上导电电容极板层、下导电电容极板层的形状相吻合的凹槽,上导电电容极板层嵌入在柔性绝缘介质层的上表面开设的凹槽内,下导电电容极板层嵌入在柔性绝缘介质层的下表面开设的凹槽内。本发明还公开了一种柔性电容式触觉传感器的制备方法。本发明既能同时检测出三维力的大小,又具有良好的整体柔性,结构设计降低了三维力求解的难度,电容式传感器可满足实时检测的要求,并且其结构紧凑,整体性强,从而使其工作稳定,使用方便,适应性好,适用范围广。

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