一种碲化铋基热电器件及其制备方法

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专利名称 一种碲化铋基热电器件及其制备方法 申请号 CN201310376295.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103413889A 公开(授权)日 2013.11.27 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 柏胜强;李菲;吴汀;黄向阳;陈立东 主分类号 H01L35/08(2006.01)I IPC主分类号 H01L35/08(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I 专利有效期 一种碲化铋基热电器件及其制备方法 至一种碲化铋基热电器件及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种碲化铋基热电器件及其制备方法,所述碲化铋基热电器件包括:碲化铋基质层、通过电弧喷涂、等离子喷涂、电镀或化学镀形成于所述碲化铋基质层上的减阻层、以及通过电弧喷涂依次形成于所述减阻层上的阻挡层、应力缓冲层、和电极层。本发明提供的碲化铋基热电器件具有低界面接触电阻率、高界面稳定性且工艺简单稳定的特点。

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