| 专利名称 | 一种电磁驱动微型二维扫描镜装置 | 申请号 | CN201310351183.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103399402A | 公开（授权）日 | 2013.11.20 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 张弛;薛飞;钟贤岱;王中林 | 主分类号 | G02B26/10(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种电磁驱动微型二维扫描镜装置 至一种电磁驱动微型二维扫描镜装置 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种电磁驱动微型二维扫描镜装置，属于微扫描技术和MEMS技术领域，采用体硅及表面微加工技术制作，是一种带两对正交磁极的微型二维扫描镜装置。该电磁驱动微型二维扫描镜装置包括：反射镜面、内基板、外基板、基座、内扭转梁、外扭转梁；所述反射镜面位于内基板上且连为一体，内基板通过一对位置相对的内扭转梁与外基板相连，外基板通过一对位置相对的外扭转梁与固定的基座连接，内扭转梁与外扭转梁相正交。微型二维扫描镜器件采用硬铝结构封装，内部采用两组磁极和磁轭形成正交磁场，输入信号由封装结构侧壁引入，封装结构顶端采用透明玻璃封盖。本发明致动效率高，扭转力大，结构紧凑，可实现较大角度的二维扫描。 |
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