| 专利名称 | 硒化/硫化处理装置 | 申请号 | CN201310339544.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103397305A | 公开（授权）日 | 2013.11.20 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 | 发明（设计）人 | 李朝晖;宋秋明;谭兴;吕文博;顾光一;肖旭东 | 主分类号 | C23C14/58(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/58(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 硒化/硫化处理装置 至硒化/硫化处理装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种硒化/硫化处理装置，包括反应炉、样片传送机构及离子生成器。反应炉内部开设有反应腔；样片传送机构用于放置并传送沉积有前驱体的样片，所述样片位于所述反应腔顶部；离子生成器设置于所述反应腔的底部，并与所述样片相对，所述离子生成器包括收容壳及射频天线；收容壳上开设有收容槽，所述收容槽用于收容硒源或硫源；射频天线设置于所述收容壳外侧，所述射频天线与外部射频电源电连接，用于产生射频电场以将硒源或硫源电离为硒离子或硫离子。上述硒化/硫化处理装置通过射频天线产生射频电场，以将硒源或硫源电离生成高活性的硒离子或硫离子，提高了硒化或者硫化的质量，制得的太阳能电池吸收层质量较好，进而提高了太阳能电池的转换效率。 |
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