| 专利名称 | 一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法 | 申请号 | CN201310303061.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103400895A | 公开（授权）日 | 2013.11.20 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 于冰;杨春雷;程冠铭;冯叶;鲍浪;郭延璐;徐苗苗 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 专利有效期 | 一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法 至一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法，包括：将铜、锌、锡及硫四种元素沉积于衬底表面，以形成铜锌锡硫前驱体；将铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体；将上述铜锌锡硫前驱体以6.25℃/min～13.75℃/min的升温速率从室温升温至150℃～300℃，并保温10min～20min；再以5℃/min的升温速率升温至480℃，并保温20min～30min；再以5℃/min的升温速率升温至500℃，并保温15min后自然冷却至室温，在衬底表面得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。通过上述制备方法，从而形成均匀的，致密的铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。 |
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