激光器的温度控制系统

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专利名称 激光器的温度控制系统 申请号 CN201320218399.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203300946U 公开(授权)日 2013.11.20 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 冯泽斌;贺跃坡;王魁波;刘斌;沙鹏飞;韩晓泉;丁金滨;周翊 主分类号 H01S3/041(2006.01)I IPC主分类号 H01S3/041(2006.01)I;G05D23/30(2006.01)I 专利有效期 激光器的温度控制系统 至激光器的温度控制系统 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种用于激光器的温控系统,温控系统包括放电腔的腔体温控系统、磁压缩器的水冷装置、固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道,所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器;温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度,并把温度数据传送给所述控制器,控制器产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器,流量控制器根据控制信号对冷却水流量进行自动调节,完成对所述放电腔内气体温度的控制。本实用新型能自动、精确的控制激光器各部件的温度,提高了激光器的能量转换效率、工作稳定性和使用寿命。

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