专利名称 | 激光器的温度控制系统 | 申请号 | CN201320218399.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN203300946U | 公开(授权)日 | 2013.11.20 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电研究院 | 发明(设计)人 | 冯泽斌;贺跃坡;王魁波;刘斌;沙鹏飞;韩晓泉;丁金滨;周翊 | 主分类号 | H01S3/041(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/041(2006.01)I;G05D23/30(2006.01)I | 专利有效期 | 激光器的温度控制系统 至激光器的温度控制系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种用于激光器的温控系统,温控系统包括放电腔的腔体温控系统、磁压缩器的水冷装置、固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道,所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器;温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度,并把温度数据传送给所述控制器,控制器产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器,流量控制器根据控制信号对冷却水流量进行自动调节,完成对所述放电腔内气体温度的控制。本实用新型能自动、精确的控制激光器各部件的温度,提高了激光器的能量转换效率、工作稳定性和使用寿命。 |
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