红外半导体激光器有源区、半导体激光器及其制作方法

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专利名称 红外半导体激光器有源区、半导体激光器及其制作方法 申请号 CN201310351168.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103401144A 公开(授权)日 2013.11.20 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 赵勇明;董建荣;李奎龙;孙玉润;曾徐路;于淑珍;赵春雨;杨辉 主分类号 H01S5/343(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/343(2006.01)I 专利有效期 红外半导体激光器有源区、半导体激光器及其制作方法 至红外半导体激光器有源区、半导体激光器及其制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种红外半导体激光器的有源区,所述有源区包括量子阱结构,所述量子阱结构中势阱层的材料为InmGa1-mAs1-nBin,所述量子阱结构中势垒层的材料为InxGa1-xAs1-yBiy,其中m=0.48~0,n=0.04~0.34;x=0.48~0.54,y=0.04~0。本发明采用InxGa1-xAs1-yBiy材料作为半导体激光器有源区的材料,基于晶格匹配生长,能够兼容DBR、DFB及垂直腔面发射激光器等其它类型激光器结构,且激光器采用无Al结构提高了器件的性能及寿命。本发明还提供了半导体激光器及其制作方法。

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