一种基于腔增强技术的气体探测方法

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专利名称 一种基于腔增强技术的气体探测方法 申请号 CN201310349560.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103398964A 公开(授权)日 2013.11.20 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 曲哲超;李斌成 主分类号 G01N21/31(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/31(2006.01)I 专利有效期 一种基于腔增强技术的气体探测方法 至一种基于腔增强技术的气体探测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种基于腔增强技术的气体探测方法,属于光电传感技术领域。其特征在于:将镀有对待测气体敏感聚合物薄膜的光学元件置于由高反射镜组成的稳定光学谐振腔,由于光学谐振腔内聚合物薄膜的吸收光谱在有无待测气体吸附时,具有不同吸收光谱特征。将激光光源注入该光学谐振腔,可以通过探测光学谐振腔输出信号强度或衰荡时间或相移的变化情况来监测被测环境中待测气体浓度。本发明提出了一种痕量气体检测的新方法,将气敏聚合物薄膜与腔增强技术相结,并且不需要光源波长调谐及光谱分光探测,具有结构简单,测量精度高等优点。

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