| 专利名称 | 光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置 | 申请号 | CN201310322690.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103399387A | 公开（授权）日 | 2013.11.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 彭海峰;巩岩;何欣;陈华男;李显凌;倪明阳 | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置 至光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，属于深紫外投影光刻物镜装调技术领域，为解决现有光学元件检测装置存在的对镜片面型影响大、支撑力不均匀的问题，该装置包括光学元件、多个气囊、底座、充气管和转接头；光学元件放置于多个气囊上；所述的多个气囊在底座上面沿圆周均匀分布设置；气囊通过转接头与充气管相连接；所述气囊包括气袋，底部两侧设置两排螺纹孔，底部设置进气孔；底座包括长孔、螺钉孔、减重孔和凹槽；气囊的进气孔伸入底座的长孔内；所述的气囊底部的螺纹孔与底座上的螺钉孔通过螺钉相连接；减重孔设置在底座中心圆形区域；凹槽与充气管配合；有效降低调整力对光学元件面型的影响；避免了机械夹持时出现的三叶像差和像散。 |
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