| 专利名称 | 一种波长调谐相移点衍射干涉测量装置及其方法 | 申请号 | CN201310346391.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103398655A | 公开（授权）日 | 2013.11.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张海涛;马冬梅;金春水 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种波长调谐相移点衍射干涉测量装置及其方法 至一种波长调谐相移点衍射干涉测量装置及其方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种波长调谐相移点衍射干涉测量装置及其方法属于基于相移点衍射干涉仪的光学元件面形检测装置及方法领域，该装置包括可调谐激光光源模块、点衍射干涉模块和控制系统，可调谐激光光源模块包括可调谐激光器、第一分光镜、第二分光镜、波长计和功率计。点衍射干涉模块包括光束调整镜组、针孔板、干涉仪成像镜组和CCD相机。控制系统包括可调谐激光器控制模块、CCD相机采集控制模块和主控计算机。该装置利用波长调谐的激光器实现移相并完成相移点衍射干涉测量，无需采用压电陶瓷相移器（PZT）或利用压电陶瓷移动角锥反射镜等机械移动部件进行移相，克服了机械移相装置制作难度大、成本高以及因机械移相装置自重引入应力形变误差的技术问题。 |
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