| 专利名称 | 一种芯片型表面等离子体光谱仪 | 申请号 | CN201310359206.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103398989A | 公开（授权）日 | 2013.11.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邓启凌;夏良平;庞辉;史立芳;杜春雷 | 主分类号 | G01N21/63(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/63(2006.01)I | 专利有效期 | 一种芯片型表面等离子体光谱仪 至一种芯片型表面等离子体光谱仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种芯片型表面等离子体光谱仪，由金属干涉结构及光电探测器阵列组成。金属干涉结构由纳米级厚度的金属膜构成，其上有一条通缝和若干沟槽，每一沟槽与通缝的间距逐渐增大，光电探测器阵列位于金属干涉结构下方，两者组合后构成芯片型表面等离子体光谱仪。本发明形成的光谱仪分光结构为纳米量级薄膜，解决了光谱仪向芯片尺度小型化的难题。 |
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