| 专利名称 | 一种管式炉外延系统 | 申请号 | CN201320306459.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203284467U | 公开（授权）日 | 2013.11.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 吴以治;许小亮;王武翟;王会杰;郁菁;杨亮亮;王子文;蔡家琦 | 主分类号 | C23C16/52(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 专利有效期 | 一种管式炉外延系统 至一种管式炉外延系统 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种管式炉外延系统，包括：反应管、混气箱、真空系统以及压强控制系统；其中：所述混气箱的出气口与反应管的进气端密封连接；所述真空系统与反应管的排气端密封连接；所述压强控制系统包括压强控制阀、压强控制电路和压强计，压强控制阀设置于混气箱的出气口上并通过压强控制电路与压强计相连，压强计设置于反应管的排气端，以测量反应管的压强。通过外延控制系统，可以有效的控制进入管式炉的气体的压强，且设备价格低，便于推广。 |
1、源头对接，价格透明
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