| 专利名称 | 支撑高度可调式光学元件多点支撑结构 | 申请号 | CN201310322942.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103389554A | 公开（授权）日 | 2013.11.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 赵磊;杨怀江;隋永新;张德福;王汝冬 | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 支撑高度可调式光学元件多点支撑结构 至支撑高度可调式光学元件多点支撑结构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 支撑高度可调式光学元件多点支撑结构，属于光机结构设计与装调领域，该结构包括光学元件、镜框和多个柔性支撑组件，所述多个柔性支撑组件均布固定在镜框内部圆周面上，所述光学元件设置在多个柔性支撑组件上；所述柔性支撑组件由柔性支撑块、微分头和恢复力弹簧组成，所述微分头固定在柔性支撑块上部，恢复力弹簧固定在柔性支撑块上部，且位于正对微分头的方向；柔性支撑块为平面柔性四连杆机构，当微分头水平运动时，通过柔性四连杆机构将水平运动转换成上部连杆的轴向运动，进而实现光学元件支撑面的轴向高度可调；本发明结构简单、加工方便、成本低，且满足了支撑高度一致性，适用于深紫外投影物镜中光学元件的检测支撑结构和工况支撑结构。 |
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