低温冷漏检漏的系统及方法

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专利名称 低温冷漏检漏的系统及方法 申请号 CN201210147708.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103389187A 公开(授权)日 2013.11.13 申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 胡忠军;李青;邱一男;李强 主分类号 G01M3/20(2006.01)I IPC主分类号 G01M3/20(2006.01)I 专利有效期 低温冷漏检漏的系统及方法 至低温冷漏检漏的系统及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种低温冷漏检漏的系统及方法,该低温冷漏检漏的系统包括配气系统、预冷系统、冷箱、灌注系统、检漏仪、真空泵以及多个通路阀门;预冷系统、灌注系统、检漏仪、真空泵分别与冷箱相连接;配气系统通过预冷系统与冷箱形成预冷通路和回气通路;灌注系统与冷箱连接形成低温液体通路和高压气体通路;真空泵与冷箱连接形成抽真空通路;检漏仪与冷箱连接形成检漏通路。本发明通过提供一种全新的低温冷漏检漏的系统及方法,能够检测待测件在液氮、液氢温区的冷漏情况,保证了待测件在液氮、液氢温区下的可靠性。

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