一种适用于dummy-trench功率器件的版图

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专利名称 一种适用于dummy-trench功率器件的版图 申请号 CN201220702762.2 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN202977425U 公开(授权)日 2013.06.05 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所;江苏物联网研究发展中心;江苏中科君芯科技有限公司 发明(设计)人 褚为利;朱阳军;胡爱斌;赵佳;喻巧群;田晓丽 主分类号 H01L29/423(2006.01)I IPC主分类号 H01L29/423(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I 专利有效期 一种适用于dummy-trench功率器件的版图 至一种适用于dummy-trench功率器件的版图 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及版图技术领域,公开了一种适用于dummy-trench功率器件的版图包括:dummy栅极结构刻蚀窗口、trench栅极结构刻蚀窗口、源极金属刻蚀窗口、dummy栅极金属刻蚀窗口、trench栅极金属刻蚀窗口、源极金属接线板刻蚀窗口、dummy栅极接线板刻蚀窗口及trench栅极接线板刻蚀窗口。本实用新型在保证器件短路耐量特性和耐压特性的基础上,通过降低器件在开关过程中的浪涌电压,降低了器件的开关损害,从而提高了器件工作的安全性。本实用新型结构简单、效果显著、实用性强。

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