| 专利名称 | 等离子体放电装置 | 申请号 | CN201220720322.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202979452U | 公开（授权）日 | 2013.06.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 贾少霞;张宸;杨景华;王守国 | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/46(2006.01)I | 专利有效期 | 等离子体放电装置 至等离子体放电装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开一种等离子体放电装置，包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳；所述射频电源与所述射频电极连接；放电装置在工作时，所述金属外壳接地；所述射频电极被介质阻挡层包覆；两个射频电极之间为等离子体喷口；所述匀气板位于所述介质阻挡层上方；所述气源提供的工作气体通过由所述匀气板构成的收缩口，到达所述等离子体喷口，并在常压下，电源接通后，在所述喷口处形成大面积的辉光等离子体，等离子体在气流的携带下向外喷出。本实用新型避免了散射性放电，提高了放电效率，提高了气流速率，增大等离子体喷出喷口的长度，降低了装置对被处理材料的形状等要求。 |
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