| 专利名称 | 模块化离子注入机控制系统 | 申请号 | CN201110391302.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103137412A | 公开（授权）日 | 2013.06.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋 | 主分类号 | H01J37/317(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/317(2006.01)I | 专利有效期 | 模块化离子注入机控制系统 至模块化离子注入机控制系统 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种模块化离子注入机控制系统，包括电源系统，反应腔室、预抽腔室、主控制器、第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空控制器及气体控制器；所述主控制器与所述第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空控制器及气体控制器之间进行串行通信。本发明提供的一种离子注入机控制系统，围绕串行通信网络搭建，主控制器将直接与各分立控制器进行串口通信，大幅度降低了成本，减少了线路连接。 |
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