一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法

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专利名称 一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法 申请号 CN201310036160.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103134443A 公开(授权)日 2013.06.05 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 曹雷;陈洪斌;邱琪;任戈;亓波;陈兴龙;温正明 主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I 专利有效期 一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法 至一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置及方法 法律状态 公开 说明书摘要 本发明提出了一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测装置,包括光源与聚光镜光轴同轴,聚光镜放置在光源的传播方向,分划板放在光源的像平面处,分光镜放置在分划板之后,光源提供的参考光经分光镜反射后向右传播至转折镜,物镜放置在转折镜之后,物镜和参考光的光轴同轴,参考光入射到被测反射镜后经反射先后经物镜、转折镜、分光镜后向左传播至电耦合器;一维旋转基座承载面形支撑调整机构,被测反射镜位于面形支撑调整机构上,面形支撑调整机构对被测反射镜进行局部调整,用以实现对被测反射镜在水平面内的平移和绕竖直轴的一维旋转,进而实现对被测反射镜的整个面形的扫描测量。本发明还提出一种大口径大径厚比反射镜面形自准直检测方法。

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