| 专利名称 | 具有精密功率检测器的射频电源 | 申请号 | CN201110389185.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103137408A | 公开（授权）日 | 2013.06.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李勇滔;赵章琰;秦威;李英杰;夏洋 | 主分类号 | H01J37/244(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/244(2006.01)I;H01J37/248(2006.01)I | 专利有效期 | 具有精密功率检测器的射频电源 至具有精密功率检测器的射频电源 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种具有精密功率检测器的射频电源，包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和精密功率检测器，精密功率检测器包括电压互感器、电流互感器、精密检波模块和集成有模数转换器和微处理单元的微控制器，电压互感器和电流互感器分别与精密检波模块相连，精密检波模块包括加法电路、减法电路、整流电路和滤波放大电路，加法电路和减法电路分别与整流电路相连，整流电路连接滤波放大电路，滤波放大电路与集成有模数转换器和微处理单元的微控制器相连。本发明能够实现高精度的射频功率检测，检测范围宽，精度一致性好，死区小。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障