| 专利名称 | 基于虚拟仪器的注入机控制系统 | 申请号 | CN201110391317.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103135509A | 公开（授权）日 | 2013.06.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋 | 主分类号 | G05B19/418(2006.01)I | IPC主分类号 | G05B19/418(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 专利有效期 | 基于虚拟仪器的注入机控制系统 至基于虚拟仪器的注入机控制系统 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明提供一种基于虚拟仪器的注入机控制系统包括注入机电源系统、设置有注入机控制软件的上位机、反应腔室、预抽腔室。本发明提供的基于虚拟仪器的注入机控制系统信号采集系统整合度高，为控制提供了牢靠的外界条件，结构简单，可用于大面积的离子注入。 |
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