| 专利名称 | 光刻照明模式产生装置 | 申请号 | CN201310092523.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103135369A | 公开（授权）日 | 2013.06.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱玲琳;张善华;曾爱军;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻照明模式产生装置 至光刻照明模式产生装置 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 一种光刻照明模式产生装置，该装置包括线起偏器、衍射光学元件、变焦镜组、偏振分光器、四分之一波片、凸锥形镜和平面反射镜，本发明无需使用凹锥形镜，减小了加工的难度，并且具有结构紧凑的特点。 |
1、源头对接，价格透明
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