| 专利名称 | 一种与X射线散射联用的恒幅宽薄膜拉伸装置 | 申请号 | CN201220733325.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203275319U | 公开（授权）日 | 2013.11.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 李良彬;孟令蒲;崔昆朋;李静 | 主分类号 | G01N23/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N23/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种与X射线散射联用的恒幅宽薄膜拉伸装置 至一种与X射线散射联用的恒幅宽薄膜拉伸装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种与X射线散射联用的恒幅宽薄膜拉伸装置，该装置采用两个安川伺服电机驱动滚珠丝杠对样品施加拉伸。电机转动由Labview软件控制。该装置一端配置拉力传感器，跟踪拉伸过程中拉力变化。拉伸过程中，垂直于拉伸方向采用剪叉机构夹具，既保证样品在拉伸中幅宽保持恒定，同时满足夹头点随样品均匀移动，不干扰样品的拉伸。该装置采用强制氮气流均匀样品仓的温度分布并减小样品在高温下的热降解。样品仓中预设两个个温度监测点，采用温度控制器精确控温。本实用新型具有容易拆卸和安装等优点，非常适合于与同步辐射实验线站联用，是研究薄膜拉伸加工中结构演化行为与薄膜性能之间关系的一种非常好的装置。 |
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