| 专利名称 | 一种基体表面纳米复合Me-Si-N超硬涂层的制备方法 | 申请号 | CN201310264796.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103382548A | 公开（授权）日 | 2013.11.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 汪爱英;王振玉;张栋;柯培玲 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基体表面纳米复合Me-Si-N超硬涂层的制备方法 至一种基体表面纳米复合Me-Si-N超硬涂层的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种纳米复合Me-Si-N（Me=Ti、Cr、Zr、W等）超硬涂层的制备方法，该方法利用高功率脉冲磁控溅射（HIPIMS）技术，通过优化工艺参数，反应磁控溅射制备Me-Si-N纳米复合超硬涂层。与现有制备技术相比，该技术能够获得高硬度并且低表面粗糙度的Me-Si-N纳米复合涂层，是一种具有良好应用前景的制备技术。 |
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