| 专利名称 | 一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置 | 申请号 | CN201220664219.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202948899U | 公开（授权）日 | 2013.05.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 李海洋;赵无垛;陈平;花磊;陈文东 | 主分类号 | H01J49/06(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J49/06(2006.01)I;H01J49/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置 至一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置，主要由离子聚焦透镜，skimmer电极和离子传导透镜组成。离子聚焦透镜对电离区的离子进行收集并聚焦通过skimmer电极。在传导透镜的作用下，经过skimmer的离子被调节后传输到真空室。skimmer电极的小孔不仅对进入电离区的离子进行了筛选，同时使电离区筒上端和下端的气压相差1~3个数量级，提高了仪器的灵敏度。 |
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