低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器

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专利名称 低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器 申请号 CN201220672229.6 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN203261565U 公开(授权)日 2013.10.30 申请(专利权)人 常州中科常泰等离子体科技有限公司;中国科学院南京土壤研究所 发明(设计)人 邵汉良;董元华;钱海波;缪琴 主分类号 H05H1/46(2006.01)I IPC主分类号 H05H1/46(2006.01)I 专利有效期 低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器 至低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器 法律状态 说明书摘要 低真空状态下的冷等离子体辉光放电发生器,包括等离子体处理装置,所述装置设于真空度可调的腔体内,该装置包括绝缘支架、放电装置、主动辊、从动辊、压辊和传送带,主动辊和从动辊通过轴承分别设于绝缘支架的两端,传送带设于主动辊和从动辊之上,压辊也通过轴承设于绝缘支架一端,将传送带压紧于主动辊上,放电装置设于绝缘支架上,传送带从放电装置的内部穿过。本装置通过对放电装置中的极板结构改进,增加了金属悬浮屏蔽外壳和绝缘填充材料,阻止了极板与腔体内壁之间的放电,并使其产生位移电流,增强了等离子体的活性。

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