| 专利名称 | 一种非破坏性检测表面形貌的方法 | 申请号 | CN201210090888.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103363946A | 公开（授权）日 | 2013.10.23 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 宫建茹;崔金磊 | 主分类号 | G01B21/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B21/20(2006.01)I;G01B21/30(2006.01)I | 专利有效期 | 一种非破坏性检测表面形貌的方法 至一种非破坏性检测表面形貌的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种非破坏性检测表面形貌的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)将紫外感光材料涂覆在待测物体的表面；2)采用紫外光照射使所述紫外感光材料固化，然后将固化后的紫外感光材料剥离，得到拓印膜；3)使用原子力显微镜扫描所述拓印膜，得到拓印膜的表面形貌；4)将所述拓印膜的表面形貌进行数据翻转，得到待测物体的表面形貌。 |
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