| 专利名称 | 一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器 | 申请号 | CN201210092230.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103367473A | 公开（授权）日 | 2013.10.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 郭旭光;曹俊诚;张戎;张真真;谭智勇 | 主分类号 | H01L31/0232(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/0232(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I | 专利有效期 | 一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器 至一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器，包括：半导体衬底、金属反射层、多量子阱结构、以及金属光栅。所述金属光栅、多量子阱结构与金属反射层组成法布里-珀罗结构的金属共振微腔，调整所述金属光栅的周期、金属条的宽度以及多量子阱结构的厚度，使入射光子在腔体内形成符合法布里-珀罗结构的共振模，可以在金属共振微腔中形成强场区，提高了入射光的有效强度，进而提高器件的响应率、探测灵敏度和工作温度。本发明结构简单，效果显著，实用性强，适用于工业生产。 |
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