| 专利名称 | 光栅分布反馈量子级联激光器 | 申请号 | CN201310308727.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103368071A | 公开（授权）日 | 2013.10.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 张锦川;刘峰奇;卓宁;王利军;刘俊岐;王占国 | 主分类号 | H01S5/125(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/125(2006.01)I;H01S5/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光栅分布反馈量子级联激光器 至光栅分布反馈量子级联激光器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种光栅分布反馈量子级联激光器。该光栅分布式量子级联激光器包括：衬底；以及在该衬底上依次生长的下波导层，下光限制层，有源区，上光限制层，等效相移光栅，上波导层；其中，在所述上光限制层的上表面具有等效相移光栅，该等效相移光栅包括均匀光栅、采样光栅和π相移结构。与传统均匀光栅的制作工艺相比，本发明等效相移光栅制作工艺要简单的多，从而极大降低了光栅分布反馈量子级联激光器的制备难度。 |
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