| 专利名称 | 光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法 | 申请号 | CN201310307284.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103365118A | 公开（授权）日 | 2013.10.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 黄立华;王俊;侯莉颖;彭雪峰;任冰强;曾爱军;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法 至光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光刻机光束监测系统的标定装置及标定方法，装置由照明单元、指向偏移引入单元、光束位置偏移引入单元和控制单元构成，利用平行平板引入光束位置偏差和双圆光楔引入指向偏差，分别调节平行平板和光楔对光束监测系统进行标定。本发明具有系统结构简单、操作方便、能有效、快速地对光束监测系统的光束位置和指向测量光路进行标定。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障