一种金-镍酸镧复合导电薄膜材料及其制备方法

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专利名称 一种金-镍酸镧复合导电薄膜材料及其制备方法 申请号 CN201210088760.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103360107A 公开(授权)日 2013.10.23 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 王占杰;王海玲 主分类号 C04B41/50(2006.01)I IPC主分类号 C04B41/50(2006.01)I 专利有效期 一种金-镍酸镧复合导电薄膜材料及其制备方法 至一种金-镍酸镧复合导电薄膜材料及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种金-镍酸镧复合导电薄膜材料及其制备方法,所述材料的组成为Au:2.21~4.32at%,La:19.11~19.56at%,Ni:19.11~19.56at%,其余为O,该材料的室温电阻率为350-500μΩ·cm,具有(110)晶体取向;该材料的制备方法是按照La∶Ni∶Au的摩尔比为1∶1∶0.113-0.226,称取硝酸镧、醋酸镍和氯金酸,以乙二醇甲醚和醋酸为溶剂,充分搅拌后得到黄绿色透明溶液,然后将所得溶液置于衬底材料上旋涂成膜,在120℃干燥10分钟后,在电炉中600-700℃退火10-30分钟;重复上述过程数次,得到所需厚度的金与镍酸镧复合的导电薄膜材料。该复合导电薄膜作为电极材料在铁电存储器、薄膜电容器和微机电系统等领域具有广阔的应用前景。

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