| 专利名称 | 一种真空摇摆机械手 | 申请号 | CN201220708824.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203236476U | 公开（授权）日 | 2013.10.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 郭晓东;颜世超;谢楠;郭阳;单欣岩;陆兴华 | 主分类号 | B25J1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B25J1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种真空摇摆机械手 至一种真空摇摆机械手 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种真空摇摆机械手，包括：适于抓取样品的夹持机构(14)；连接夹持机构(14)的传动套管(8)和传动连杆(9)，它们能够相对滑动；手动的操纵机构(10)；密封固定在真空腔体上的法兰(1)，法兰(1)具有开口；适于将传动套管(8)活动支承在法兰上的支承机构(20)；沿轴向套设在传动套管(8)外的第一波纹管(6)和直径小于且长度大于其的第二波纹管(13)，它们在夹持机构(14)和法兰(1)之间形成柔性密封连接并且彼此由连接件(7)密封连接。其中，法兰(1)的开口的口径较大并且连接件(7)能够在传动套管(8)上滑动，从而使得本实用新型的机械手最大摆动张角不小于60度。 |
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