| 专利名称 | 一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置 | 申请号 | CN201320268368.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN203241699U | 公开（授权）日 | 2013.10.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 王宇;张罗莎;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;谢婉露 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H05G2/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置 至一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种液态金属靶产生装置，其能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括腔体，该腔体具有一个导管，该导管穿过腔体的上部进入腔体内部，以至于液态金属靶材料能通过该导管滴入到该腔体的内部；转轮，呈圆柱体形且能绕其中心轴转动，且该中心轴与该导管垂直，并且，该转轮与导管对准，以致从导管中滴下的液态金属靶材料能落到所述转轮的侧面，并通过转动的所述转轮的加速而形成所述金属液滴。本实用新型能够产生稳定、高频、高速的微小液态金属靶有效控制液态金属靶的直径，保证发光稳定性，有效控制发光过程中的系统污染。 |
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