| 专利名称 | 一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置 | 申请号 | CN201310334223.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103354694A | 公开（授权）日 | 2013.10.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 王宇;谢婉露;吴晓斌;张罗莎;陈进新;王魁波;罗艳 | 主分类号 | H05G2/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H05G2/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置 至一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置，所述金属液滴帘包括从上至下运动的多条金属液滴串，每条金属液滴串由具有一定间隔的金属液滴组成。所述降低碎屑的装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11)，该所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方，且具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可以喷射出具有一定间隔的金属液滴组成的金属液滴串。金属液滴收集装置(11)具有一个正对所述金属液滴帘(12)的液滴入口，使得所述金属液滴帘(12)流入该液滴入口后被收集。本发明能够有效地降低碎屑含量，能够应用于EUV光源系统中，从而有效地降低碎屑的污染和元件的损坏。 |
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