| 专利名称 | 一种高数值孔径浸没投影物镜 | 申请号 | CN201310325062.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103353669A | 公开（授权）日 | 2013.10.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 朱红伟;邢廷文;林妩媚;白瑜;廖志远;邓超 | 主分类号 | G02B13/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高数值孔径浸没投影物镜 至一种高数值孔径浸没投影物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种高数值孔径浸没投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内；该浸没投影物镜，沿其光轴方向包括平行平板组、第一透镜组、反射镜组和第二透镜组；从光束入射方向顺序平行平板组具有一个平行平板，第一透镜组具有正光焦度，反射镜组具有负光焦度，第二透镜组具有正光焦度。本发明的高数值孔径浸没投影镜组能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了所述物镜的分辨力，同时提高光刻效率。 |
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