| 专利名称 | 一种三自由度纳米定位微动硅片台 | 申请号 | CN201310270299.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103345126A | 公开（授权）日 | 2013.10.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 周清华 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种三自由度纳米定位微动硅片台 至一种三自由度纳米定位微动硅片台 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种三自由度纳米定位微动硅片台，包括底板，支撑机构，柔性导向板，驱动电机，方镜，吸盘和干涉仪；底板为整个硅片台的基座；柔性导向板通过内部特殊导向簧片，实现单层三自由度运动，即X，Y和θz三个运动方向的导向作用，中间通过支撑机构与底板连接；驱动电机安装在柔性导向板内，提供驱动动力；方镜固定在柔性导向板上，侧面布置三轴干涉仪，完成位移反馈，实现系统闭环；方镜上放置吸盘，吸盘上放置硅片，由此组成一个高精度微动硅片台。采用独特的柔性导向板设计，使得三自由度运动在一个层次上实现，进而使结构紧凑，高度尺寸小；且用簧片导向，干涉仪测量，能实现数纳米级的定位精度，满足32nm技术节点硅片台定位需求。 |
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