柔性曲面微透镜阵列、其制作方法及应用

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专利名称 柔性曲面微透镜阵列、其制作方法及应用 申请号 CN201310268134.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103345008A 公开(授权)日 2013.10.09 申请(专利权)人 广州中国科学院先进技术研究所 发明(设计)人 金建;邸思;谢占功;陈贤帅;杜如虚 主分类号 G02B3/00(2006.01)I IPC主分类号 G02B3/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 专利有效期 柔性曲面微透镜阵列、其制作方法及应用 至柔性曲面微透镜阵列、其制作方法及应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种柔性曲面微透镜阵列及其制作方法和应用,其中制作方法包括如下步骤:1、取一柔性透明基板,用酒精清洗及异丙醇淋洗后吹干,烘烤后自然冷却;2、对基板表面进行氧气等离子体处理;3、将正光刻胶均匀涂覆于处理好的柔性透明基板的上表面;4、将基板置于掩膜板下方,对基板上表面的正光刻胶进行紫外曝光、显影以在基板上表面形成多个呈阵列状的圆柱形光刻胶块;5、将带有阵列状圆柱形光刻胶块的柔性透明基板置于真空烘箱内,加热熔融、自然冷却;6、将带有微透镜阵列的柔性透明基板的两侧边分别固定在夹具的两个夹板上。本发明制备柔性透明基板所需设备少,且不需要精密且昂贵的设备,加工方法简单,制作成本低。

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