单片集成耦合腔窄线宽半导体激光器

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专利名称 单片集成耦合腔窄线宽半导体激光器 申请号 CN201310211088.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103346475A 公开(授权)日 2013.10.09 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 刘建国;郭锦锦;黄宁博;孙文惠;祝宁华 主分类号 H01S5/12(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/12(2006.01)I 专利有效期 单片集成耦合腔窄线宽半导体激光器 至单片集成耦合腔窄线宽半导体激光器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种单片集成耦合腔窄线宽半导体激光器,包括:基底;缓冲层,形成于该基底之上;下限制层,形成于该缓冲层之上;多量子阱有源层,形成于该下限制层的左端之上;波导层,形成于该下限制层的右端之上;相移光栅层,形成于该多量子阱有源层之上;均匀布拉格光栅层,形成于该波导层之上;上限制层,形成于该有源叠层、该对接区及该无源叠层之上;刻蚀阻止层,形成于该上限制层之上;欧姆接触层,形成于该刻蚀阻止层的左端之上;P电极层,形成于该欧姆接触层之上;以及N电极层,形成于该基底的背面。利用本发明,避免了传统的利用外腔压窄线宽结构的跳模危险,实现频率的稳定性。

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