光子晶体纳腔量子环单光子发射器件及其制备方法

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专利名称 光子晶体纳腔量子环单光子发射器件及其制备方法 申请号 CN201310254144.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103346476A 公开(授权)日 2013.10.09 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 佟存柱;田思聪;汪丽杰;邢恩博;王立军 主分类号 H01S5/125(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/125(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I 专利有效期 光子晶体纳腔量子环单光子发射器件及其制备方法 至光子晶体纳腔量子环单光子发射器件及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 光子晶体纳腔量子环单光子发射器件及其制备方法,属于量子信息学领域,为解决单量子点微腔的单光子源存在的问题,在衬底上依次生长缓冲层、下布拉格反射镜、光学缺陷层和上布拉格反射镜,上电极接触层生长在上布拉格反射镜上面周边区域,下电极接触层生长在衬底下面;表面横向二维光子晶体结构由微纳加工制成的空气孔洞-半导体构成,内部横向谐振腔光学尺度为量子环的增益波长的一半,横向二维光子晶体谐振腔模式波长与量子环的增益波长匹配;所述量子环位于光学缺陷层中间,并且位于上布拉格反射镜、下布拉格反射镜和横向二维光子晶体结构构成的三维纳腔中心;采用量子环作为发光介质,量子效率更高;量子环材料可以覆盖量子点无法覆盖的波段。

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